一个半自动涂胶器增加了光刻胶自动吹气，光刻胶喷洒和旋转周期的功能。 EL5162IWZ-T7氮气吹气是通过真窄吸盘上面一个单独的管子来完成的．这个管子连接着加压的氮气源（见图8. 32）。在喷洒反应室里面还有一个用来涂底胶的管子和一个光刻胶喷洒管。光刻胶管子是从加压氮气容器或通过隔膜泵来供给光刻胶的。由于氮气会被吸收到光刻胶里面，所以工业上基本上已经不再用氮气加压光刻胶喷洒系统了。在光刻胶喷洒周期完成之后，氮气会从光刻胶里面出来，这样会在光刻胶膜上留下小孔。而隔膜泵则不会出现这样的问题。

   自动光刻胶喷洒器具备负压的功能，它能在光刻胶喷洒操作完成之后自动地把光刻胶吸回到喷洒管中。这个回吸功（drawback或suckback）减少r管子中光刻胶暴露的表面，从而防止了暴露的光刻胶干化成硬球而落到晶圆表面。对于一个全动系统，所有的旋转工艺事件是用微处理器来控制的。这个系统能够自动地把晶圆从片匣中取出来放在吸盘上，进行涂底胶、滴光刻胶、去除边缘珠、软烘焙，再把晶圆放回到片匣中。标准的系统配置是一条流永线，又称轨道( track)。生产上的涂胶机一般会有2—4个并排的轨道。