单电容式压力传感器
发布时间:2014/11/25 21:22:06 访问次数:668
这一技术的基本思路是将电极引出线进行从而消除了引出线对内层屏蔽容性漏电，单电容式压力传感器.
图2-98所示为一种生物医学上应用的电容式听诊器结构。它是单电容式压力传感器， AD7541ABQ绷紧的膜片受到声压的作用，使间隙发生变化，从而改变了极板间的电容。电容的变化与声压的大小在一定的范围内有线性关系。
图2-99所示是一种单电容式高压力传感器，它可测4×l08 Pa极高的压力。传感器的动极片采用带活塞的垂链式膜片结构，采用活塞是为了减小膜片的直接受压面积，从而可使膜片减薄，以提高灵敏度。
这一技术的基本思路是将电极引出线进行从而消除了引出线对内层屏蔽容性漏电，单电容式压力传感器.
图2-98所示为一种生物医学上应用的电容式听诊器结构。它是单电容式压力传感器， AD7541ABQ绷紧的膜片受到声压的作用，使间隙发生变化，从而改变了极板间的电容。电容的变化与声压的大小在一定的范围内有线性关系。
图2-99所示是一种单电容式高压力传感器，它可测4×l08 Pa极高的压力。传感器的动极片采用带活塞的垂链式膜片结构，采用活塞是为了减小膜片的直接受压面积，从而可使膜片减薄，以提高灵敏度。
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