超纯水的质量控制要求
发布时间:2012/4/28 19:37:14 访问次数:1056
微电子器件工艺对超纯L6563水的质量要求主要有六项技术指标：
①电阻率：16MCI．cm以上。
②粒子含量：少于130个/cm3(粒径≤0.5 ptm)。
③溶解的气体：少于220ppm。
④总的电介质：少于35ppb。
⑤有机物：少于lppb。
⑥微生物：少于9个/cn3。
表4. 21是不同方法制取的纯化水质量比较，不同工艺对水质的要求不同，应有相应的具体规定。
微电子器件工艺对超纯L6563水的质量要求主要有六项技术指标：
①电阻率：16MCI．cm以上。
②粒子含量：少于130个/cm3(粒径≤0.5 ptm)。
③溶解的气体：少于220ppm。
④总的电介质：少于35ppb。
⑤有机物：少于lppb。
⑥微生物：少于9个/cn3。
表4. 21是不同方法制取的纯化水质量比较，不同工艺对水质的要求不同，应有相应的具体规定。
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