Al、Au薄膜在淀积过程中，由于杂质污染及局部应48CTQ060力使薄膜中存在一定的密度缺陷，主要是空位和晶界。
    Al离子的热振动可使其从正常晶格位置上激发到临近的空位中，产生Al离子的自扩散，相当于“空位”运动。空位扩散系数D为：
    D= Do exp(-Q/K T)    (4.4)
    式中，D。为与激活熵有关常数；Q为扩散激活能。

               
    Al离子自扩散各向同性，不会形成质量的积累与亏损。当受到力的作用时，Al离子会往一固定方向运动，在一端产生Al离子堆积，另一端产生空洞。晶粒尺寸大小作为相关因子，会对金属条平均失效时间(MTF)产生影响，表4.3是晶粒尺寸大小比较。