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光刻胶层透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下变得可溶

发布时间:2022/2/28 13:23:29 访问次数:1078

数据保持能力是衡量eNVM性能的重要指标,目前,对于验证NVM数据保持能力的方法,国内外已经有不少相关的研究或标准,如JEDEC固态技术协会制定的JESD22-A117C和JESD47H, 中国电子技术标准化研究院牵头制定的GB/T 35003—2018,但大多数主要集中在相变存储器、Flash存储器等的数据保持能力,而对MTP存储器的数据保持能力却鲜有研究。

MTP存储器的数据保持能力不仅要求在高温条件下能够保持数据不丢失,而且要能够保持很长的时间,因而不仅要研究MTP存储器的可靠性,还要能够计算出MTP存储器的数据保持时间,这对合理拓宽MTP存储器温度应用范围及使用寿命有重要的现实意义。

光刻胶(Photo Resist)均匀铺在晶圆表面,在这个过程中需要保持晶圆旋转,这样可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。然后光刻胶层透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶。

掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成电路的每一层图案。一般来说,在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。

溶解光刻胶,曝光在紫外线下的光刻胶被化学试剂溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。

使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,全部清除后就可以看到设计好的电路图案。这一系列过程我们称之为光刻。

开发人员通常只能选择在微控制器上运行的基于软件的解决方案(这是一种灵活的软件解决方案,但也给微控制器带来了计算负担),或者使用专用集成电路 (IC)。它用空气的高速代替燃油的高速引起雾化,空气雾化喷嘴使其他种类喷嘴产生的局部富油得以避免,因此减少了积碳的形成和排气冒烟。

使用QBL4208-41-04-025,这款电机也是来自TRINAMIC Motion Control,这是一款24 V、4000 RPM BLDC电机,可提供略高于 0.25 Nm的扭矩。TRINAMIC Motion Control的QBL4208-41-04-025是一款24V、4000 RPM BLDC电机,最高速度下可提供略高于0.25 Nm的扭矩。

数据保持能力是衡量eNVM性能的重要指标,目前,对于验证NVM数据保持能力的方法,国内外已经有不少相关的研究或标准,如JEDEC固态技术协会制定的JESD22-A117C和JESD47H, 中国电子技术标准化研究院牵头制定的GB/T 35003—2018,但大多数主要集中在相变存储器、Flash存储器等的数据保持能力,而对MTP存储器的数据保持能力却鲜有研究。

MTP存储器的数据保持能力不仅要求在高温条件下能够保持数据不丢失,而且要能够保持很长的时间,因而不仅要研究MTP存储器的可靠性,还要能够计算出MTP存储器的数据保持时间,这对合理拓宽MTP存储器温度应用范围及使用寿命有重要的现实意义。

光刻胶(Photo Resist)均匀铺在晶圆表面,在这个过程中需要保持晶圆旋转,这样可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。然后光刻胶层透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶。

掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成电路的每一层图案。一般来说,在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。

溶解光刻胶,曝光在紫外线下的光刻胶被化学试剂溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。

使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,全部清除后就可以看到设计好的电路图案。这一系列过程我们称之为光刻。

开发人员通常只能选择在微控制器上运行的基于软件的解决方案(这是一种灵活的软件解决方案,但也给微控制器带来了计算负担),或者使用专用集成电路 (IC)。它用空气的高速代替燃油的高速引起雾化,空气雾化喷嘴使其他种类喷嘴产生的局部富油得以避免,因此减少了积碳的形成和排气冒烟。

使用QBL4208-41-04-025,这款电机也是来自TRINAMIC Motion Control,这是一款24 V、4000 RPM BLDC电机,可提供略高于 0.25 Nm的扭矩。TRINAMIC Motion Control的QBL4208-41-04-025是一款24V、4000 RPM BLDC电机,最高速度下可提供略高于0.25 Nm的扭矩。

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