为了在灵敏度要求的范围内获得满意的曝光,并得到用于X射线照相试验的器件或缺陷特征图像的最详细细节,ACPL-247-500E必须调整或选择X射线曝光系数、电压、电流和时间。

   1.安装和观察

   器件应安装在夹具中,使其不受损坏或沾污,并在规定的适当平面上。夹具可是多种类型的带有铅隔膜或钡土的挡板,用来隔开多个样品,但要求夹具或挡板材料不妨碍从X射线源到器件本体任何部位的观察。

   1)对扁平封装、双列直插封装及单端圆柱形器件的观察对扁平封装、双列直插封装及单端圆柱形器件,用X射线穿透视察一次。在需要一次以上的观察时,用X射线分别在Z方向和X方向进行第二次、第三次穿透视察。对于扁平封装,z方向或者X方向均可。把芯片与腔体的界面尽可能放在靠近底片处,以避免影像失真。

   2)对双端螺栓安装的器件和圆柱形轴向引线器件的观察将双端螺栓安装的器件和圆柱形轴向引线器件,用X射线穿透观察一次。在需要一次以上的观察时,在z方向和在X及z方向之间的45°方向上,用X射线穿透进行第二次和第三次观察。把芯片与腔体的界面放在尽可能靠近底片处,以避免影像失真。

   2.X射线照片质量标准

   每一张X射线照片至少有两个位于两角上通过曝光形成的(适当地做标记)用于分析比较曝光质量的标准(透度计),它具有与被检器件最接近的X射线照相黑度。X射线照片质量标准应符合电子器件X射线照相试验质量控制的适用标准,或者其他等效标准中的规定。

   3.试验

   选择X射线曝光系数以达到主尺寸分辨率为0.Ⅱ54mm,失真小于10%,应对每一需要的观察角度拍摄X射线照片。

   4.射线照∴片的分析

   采用本方法规定的设备进行X射线照片检查来确定每个器件是否符合本标准,有缺陷的器件应拒收。应在X射线照片表面上没有眩光的、低光强的条件下对X射线照片进行分析。在投影型观察设备上及强度可变的适当光源下,或适于X射线检查的观察器上检查X射线照片。应放大6~25倍来观察X射线照片。必要时,可采用观察屏。不能清楚表征X射线质量的标准图像特征的照片不得接收,应重新拍摄该器件的X射线照片。