这类器件工作的一个重要挑战以及合适振荡器的相关设计是其在液体中工作,如水或相关分析用电解质中工作时其品质因数会降低(见图6.27)。 LL4150相关机械衰减的影响与电学领域欧姆电阻的影响类似。因此,许多用于压电振荡器的电路这里不适用,因为它们依赖于在空气中的高品质因数。

    图6.27在空气和水中FBAR谐振器的阻抗和相位随频率的变化关系[49]

    图6.28给出了一个成功应用在水中工作FBAR振荡器的构想[49]。FBARェ作在一个与电容器CO串联的电压分压结构上。在同一图中,FBAR-气电压分压结构的传递函数显示了30°相移和谐振频率点-2dB的增益。为了满足振荡的巴克豪森标准和增益裕度,以及考虑到可能的器件参数的变化及其对整体增益的影响,放大器的设计就要满足提供剩余的330°和5dB增益。正是为了在所有工艺/温度转角处都精确地满足谐振频率下的增益-相位关系,放大器被构建为Cm-C滤波器,通过变换跨导器的偏置电流,实现放大器的调谐。传递函数与工艺无关,但是与C淑、ε记和C湘、CI和o的匹配紧密相关。