根据使用过程中△序是否处于稳态,叉可以分为分析用控制图和控制用控制图:一道I序开始应用控制图时,几乎总不会恰巧处于稳态,也即总存在异囚。KA324A如果就以这种非稳态状态下的参数来建立控制图,控制图界限之间的间隔一定较宽,以这样的控制图来控制未来,将会导致错误的结论。因此,一开始,总需要将非稳态的过程调整到稳态,这就是分析用控制图的阶段。等到过程调整到稳态后,才能延长控制图的控制线作为控制用控制图,这就是控制用控制图的阶段。

   分析用控制图阶段主要解决两个问题:①所分析的过程是否处于统计控制状态;②该过程的过程能力指数Cヵ是否满足要求。当上述问题解决之后,即进人控制用控制图阶段,出现点子出界或非随机排列时需要查找原囚、改正之后才能继续生产:

   当过程处于稳态时,产品的计量质量特性值有99.73/落在〃±扬的范围内,其中〃为质量特性值的总体均值,σ为质量特性值的总体标准差,也即有99,73%的产品落在上述防范围内,这几乎包括了全部产品。故通常将6倍标准差(6σ)范围视为过程的自然波动。把程的自然输出能力与要求的容差比较,著名质量专家朱兰引人能力比的概念,即过程能力指数。

   在集成电路制造生产过程中,每一个主要的生产步骤之后都会进行一些测量或监控,例如所沉积的薄膜的厚度,化学机械抛光之后金属或绝缘体薄膜的厚度,刻蚀之后沟槽、通孔、有源lx、栅极的宽度等,以确保该△艺步骤是合格的,避免不合格品流落到下一道T∶序继续生产。把这些测量值以适当的方式放人到sPC Chart中,并开启没定的判异准则,则可以提前发现产线的异常,在异常还未对产品产生不可接受的影响之前,就把问题显现出来.SPC的执行系统会产生一个OCAP(out of c°ntrol acti°n plan),由生产或I程人员按照OCAP的流程对异常进行处理,从而有效避免不合格品的发生。考虑到所测量参数的固有物理性质、对产品的影响程度以及判异发生时故障排查的难易程度,通常只选择8个判异准则中的一个或几个,避免虚发警报的概率过高,如果只选一个,通常选择WEtΓ()rule1,即单点超出控制限。不断提高过程能力指数(C淤)是统计过程控制在集成电路生产中应用的重要环节。在同样的条件下,过程能力指数越大,测量参数落在公差界限之外的概率越小,通常泌达到67已经是比较理想的状态,继续提高C泌可能意味着巨大的投人但收益很小。如果把作为改进的目标,公差界限设置合理是重要的前提条件。