控制图(con1rol c11art)是对过稆质量特忤值进行测定、记录、评估,从而监察过程是否处于控制状态的一种用统汁方法没计的图。 KA317LZTA图上有屮心线(Cen1ral I'ine,CI')、控制(Upper(lontrol l'irni1,U(∶I')和F控制限(l'ower Con1roH'in)it,I'(lI'),并有按时间顺序抽取的样本统汁量数值的描点序列,参见图16.10。UCI'与LCl'统称为控制线(controlhncs)c右控制图巾的描点落在U(∶I'lj I'(′I'之外或捕点在U(lI'与LtlI'之问的排列不随机,表明过程异常c世界L第一张控制图是美国休哈特(W,Λ。Sl)ewhart)在1924年5月16口提出的不介格品率夕控制图c控制佟l有一个很大的优点.即在图中将所描的点子与控制界限或规范界限相比较,从而能够直观地看到产品或服务质董的变化。

   (1)第一类错误:虚发警报(false alarm)。过程正常,由于点子偶然超出界外,根据点 出界就判异,于是就犯了第一类错误。通常犯第一类错误的概率为α。第一类错误将造 成寻找根本不存在的异囚的损失。鉴于生产过程的复杂性,查找不存在的原囚耗费u大而 没有成果,所以通常控制图的虚发警报概率α取得很小.经验证明,α=0.27%在通常情况下 是很好的选择。

   (2)第工类错误:漏发警报(alarm missing)。过程异常,但仍会有部分产品,其质量特 性值的数值大小仍位于控制界限内:如果抽取到这样的产品,点子就会落在界内,不能判断 过程出现异常。从而犯了第二类错误,即漏发警报。通常犯第二类错误的概率记为`。第二 类错误将造成可能发生不合格或不合格品增加的损失。

   基于E态分布(n()rmal dis1ribu1ion)假设的控制图是最常用的控制图。如果数据呈止态分布,则测量结果落在△3sign1a内的概率为99.73%。如薄膜沉积过程屮只有偶然波动,则膜厚成正态分布。如果除r偶然波动还有异常波动,则此异常波动将叠加在偶然波动形

成的典型分布L,质壁特性值的分布必将偏离原来的典型分布。l,Nl此,根据典型分布是否偏 离就能判断异常波动是否发生,是否出现F异常因素・典型分布的偏离可由控制图检出。在薄膜沉积的例子巾.如果反应室的压力发生异常.导致薄膜的厚度分布偏离了原先的正态分布而向L移动,于是点子超出上控制界的概率大为增加,导致点子频频出界,表明过程存在异常波动。控制图的控制界限就是区分偶然波动与异常波动的科学界限。

   只有偶然因素没有异常囚素的状态,称为统计控制状态(statc in statis1ical contr。l),简称稳态,是控制阶段实施过程控制所追求的目标。