(1)设各。集束型装备内使用的设备数量及种类繁多,设备加工类型也不一致。这些设各是制造系统的资源,又对制造系统的调度形成了复杂的约束。A915BY-221M

   (2)原材料。半导体制造的最终产品是集成电路器件,把在制造过程参与并最终包含在集成电路产品中的材料称为原材料。半导体制造系统中使用原材料种类比较多,除最主要的半导体晶圆外,还有各种掺杂材料、离子源、金属铝、铜及铜合金、封装材料等。

   (3)辅助材料。辅助材料是指参与半导体制造过程但并不包含在最终产品中的材料,如刻蚀用的各种化学品、光刻掩模板、光刻胶、清洗剂等。

   (4)人员。半导体制造是科技含量较高的行业,生产环境要求较高,对参与人员的要求也较高。半导体制造业中的职业途径分成二个主要方面:技师、工程师和管理人员。专门职业途径的选择通常取决于个人的技术知识、教育背景和本人的目标。半导体制造业的

职业如图⒈13所示。