尽管集束型装备各个作业的执行时间相对准确,但仍存在一定波动[1剔。来自厂TBPS0R472K410H5Q商的数据表明:加工时间每50~20Os最大有5s的偏差,机械手搬运时间每10~⒛s有0~2s的偏差,晶圆对准失败的可能性则根据设备的不同在3%~10%之间变化。晶圆的对准过程具有随机性,如果一次没有对准,就要重复这一过程,有时可能需要若干次。这种时间波动使在加工时间确定的条件下得到的调度方案有可能变得不可行。另外,在实际加工过程中,装备的活动时间并非是确定值,它是在―定范围内波动的随机值,而活动时间的变化经常会导致晶圆驻留时间的波动,使最初可行的调度方案变得不可行。在加工时间确定的条件下,一个调度可以离线求得,因而对求解的时间要求并不苛刻。而在加工时间波动的条件下,由于波动的随机性,离线的调度没有意义,须生成在线调度方案。

   设各自动清洗

  集束型装备是高端自动化设各,晶圆的加工对环境的清洁度要求很高。在装备内的加工模块具备自动清洗的功能,每加工完几片晶圆后,就要对加工腔体进行一次清洁维护,清除腔体内的残留气体和杂质颗粒,以保证晶圆的质量。