在良率提升阶段,使用的光罩,包含一种或者多种产品,或者包含各种特殊设计的测试结构,通常称为良率学习载体(yield learning vehicle)。 SC806IMLTRT

   采用逻辑或者Mem。ry产品的光罩,通常采用full flow的流片,w盯er会经历所有的工艺步骤,典型的流片时问在1~2个月。这样做的优点是试验结果可以直接反映在产品的yield~L,缺点是learning cycle太长,而且问题的诊断和追溯原因比较困难。

   如果已经知道I艺改善的大概环节,可以采用short loop流片的方式。例如,已经了解问题出在M1相关的I艺步骤,仅在M1相关的△艺流片。这样Short loop的试验往往能在一两周甚至数天之内完成,learning cycle大大缩短。图17.19给出了I艺线上常见的sh°rt loop试验的流程。