学习周期(learnmg qcle)SAF-C515C-8EM

   集成电路的高速发展,市场激烈的竞争,对于先进制程的良率提升提出了很高的要求。yield的提升,实质上是一个yiCld learning的过程。图17.18表示学习周期(learningcycle)中的主要环节。

yield lcaming的目的就是尽快地把试验结果中的有效信息反馈到工艺线上,用以丁艺改善。

   yield leaming有个方面的要求:

   第一,速度快,leaming cycle短.这要求在learning cycle各个环节都尽量缩短时问,并且各环节之间有机结合.环节间的延迟少。由于wafer流片的时问需求,一般的learningcyclc为数周。

   第二,数据完备,可以全方位检验试验的结果,避免试验信息的遗漏。