TEM是所有微分析技术中具有最高分辨率的技术,已成为深亚微米尺寸时代分析实验室必不可少的日常分析、 T0P100YAI观测I具。以FEI T⒛场发射透射电镜为例,日前商用透射电镜的=个主要指标如下为:①加速电压:⒛0kV。常用TEM的加速电压在⒛O~40kV范围内。②分辨率:点分辨率=0.248nm;线分辨率=0.lO2nm。③放大倍率:现代TEM的最大放大倍率在一百万倍左右。

   工作原理和构造

   TEM的工作原理和普通光学显微镜类似,是依照阿贝成像原理丁作的。TEM使用电子束代替光波,用电磁透镜代替光学玻璃透镜。其基本△作原理是由电子枪发射的电子束,经高压加速和汇聚透镜的作用,聚焦于样品表面,由于透射电镜样品厚度通常<1000A.透过样品的透射电子带有反映样品特征的信息,经物镜形成一次放大电子图像.冉经中间镜和投影镜进一步放大后,在荧光屏L得到最后的电子显微图像。电镜总放大倍数M曾,等于成像系统各个透镜放大倍数的乘积,即M总=A/f物x Mi|""xM投影o由于电子波长极短,同时与物质作用遵从布拉格(Bragg)方程,产佳衍射现象,使得透射电镜白身在具有高的像分辨本领的同时兼有结构分析的功能。