对于光刻成像模型,我们先要讨论一下光的衍射(diffraction)和干涉(interference)。为V61C32P-70了讨论一般性原理,我们讨论一维周期性光栅在相干照明条件下的成像。所谓相干光照明,就是说在光栅(掩膜版)平面上,任何两点的光的相位差是固定的、在观测的时间窗口内是稳定的。对于在平行光垂直照明的情况下,这种相位差等于零。但是当出射光不再沿着人射光的方向时,相邻两束光(从两个相邻光缝射出)之间的相位差(或者光程差)便不再是零。

   图7.53 一维周期性光栅在相干照明条件下的成像

   如图7,53所示,在平行光人射的情况下,由于光的衍射,在不同的角度上都会有光强分布,不过随着衍射角汐的不断增加,衍射的强度会逐渐下降。其衍射光的角分布由于光的波动性将不是平缓变化的,而是呈周期性峰值分布。这是由于,任何相邻两个光缝之间存在silae的光程差。当这个光程差等于波长的整数倍时,所有的光的相位变得相同,于是便出现一个亮点(峰值),所以对应峰值位置的角度正弦si昭=^/夕的整数倍。我们把这种现象叫做光的干涉。如果假设缝宽为无限小,它的透射光振幅为AO,对于一个有着N个光缝的光栅,在观测屏上的光强角分布可以用以下表达式来描述