在辉光放电时,整个放电管将呈现明暗相间的辉光强度。为直流辉光放电时各参量的分布。PIC12F617-I/MS其中,辉光强度低的暗区相当于离子和电子从电场获得能量的加速区;辉光强度高的亮区相当于不同粒子发生碰撞、复合、电离的区域,在这些区域有光子产生。在阴极附近辉光度有最大值,称为负辉光区,它是以被加速的电子与气体分子发生碰撞,使分子电离的区域。

    辉光放电时,气体被击穿,有一定的导电性,这种具有一定导电能力的气态混合物是由正离子、电子、光子以及原子、原子团、分子和它们的激发态所组成的,称为等离子体。等离子体内带电粒子所带正、负电荷的数目相等,宏观上呈现电中性。

   PEC`0、溅射及干法刻蚀等多个集成电路单项工艺中应用的等离子体,通常都是选择在气体的反常辉光放电区,因为在此区域电流是随着电压增加而线性增大的,相对于正常辉光放电区等离子体中的电子和正离子数量较多,能量密度也就较高。

   直流辉光放电形成的等离子体,是物质的一种非热平衡状态的存在形态。其中,电子能量高于周围环境中的其他粒子。例如,真空度约为1Pa的气体,在反常辉光放电时等离子体中电子的平均动能E大约为2eV,这些电子的温度⒎=刀乃约为23000K。电子温度是描述电子能量的一个概念。相应分子和中性原子的温度只有300~500K,电子的能量比周围其他粒子高得多,有时也称为热电子。