X射线点光源是最早被考虑的一种产生X射线的方法。等离子体X射线源按产生的方式可以分为两种:激光等离子体源和高密度等离子体源。SDCL1005C2N4STDF激光等离子体源所产生的X射线具有高强度和价格低廉的特点,是一种很有吸引力的X射线源。用于产生X射线的靶材料可以是从铁(Fc)到固态氖(Ne)在内的很多种材料,但这种辐射容易产生残渣颗粒。激光等离子体源发射X射线的转换效率很高,因此可以满足实际需要的辐射功率。激光等离子体源发射X射线的平均功率典型值为几mw/cm2。实验发现使用Cu等离子体源得到的X射线具有更高的能量转换率,并且辐射的射线波长在1n磋右,因此,Cu是一种比较理想的X射线点光源的靶材。高密度等离子体源是通过放电产生X射线的,其辐射机理与激光等离子体相同,但辐射功率大,是一种很有发展前途的X射线源。同步辐射X射线源,是利用高能电子束在磁场中沿曲线轨道运动时发出电磁辐射(简称同步辐射),从中引出特定波长范围的高强度、高准直性的X射线作为曝光源。高能电子在半径为ρ的加速器中运动时,每旋转一圈的能量损失.