光刻胶的纯净度与光刻胶中的微粒数量和金属含量有关。为了满足对光刻胶中微粒数蚩的控制,光刻胶在生产的过程中需要经过严格的过滤和超净的包装。通过严格的过滤和超净的包装,可以得到高纯度的光刻胶。SBJ160808T-252Y-N此外,即便得到了高纯度的光刻胶,在使用前仍然需要进行过滤。冈为即便在生产的过程中光刻胶已经经过了过滤和密封包装,随着存储时间的增加,光刻胶中的微粒数童还会继续增加。过滤的精度越高,相应的成本也越高。光刻胶的过滤通常是在干燥的惰性气体(如氮气)中进行的。根据需要选择过滤的级别,一般直径在O。1um以上的微粒都需要除去。

   光刻胶的金属含量主要是指钠和钾在光刻胶中的含且:囚为光刻胶中的钠和钾会带来污染-降低器件的性能。通常要求光刻胶的金属含量越低越好,特别是钠需要达到五十万分之一原子。这种低浓度的钠和钾可以通过原子吸收光谱分光光度计来测量。

   储存寿命

   光刻胶中的成分会随时间和温度而发生变化。通常负胶的储存寿命比正胶短(负胶易于自动聚合成胶化团)。从热敏性和老化情况来看,DQN正胶在封闭条件下储存是比较稳定的。如果储存得当,DQN正胶可以保存6~12个月。在存储期间,由于交叉链接的作用,DQN正胶中的高分子成分会增加,这时DQN感光剂不再可溶,而是结晶成沉淀物。另外,如果保存在高温的条件下,光刻胶也会发生交叉链接。这两种因素都增加了光刻胶中微粒的浓度,所以光刻胶在使用前需要经过过滤。采用适当的运输和存储手段,在特定的条件下保存以及使用前对光刻胶进行过滤,这都有利于解决光刻胶的老化问题。