外延层的质量直接关系到制作在上面的各种元器件的性能。而外延过程中,外延层晶格是否完整, MAX1967EUB会存在哪些缺陷?外延层中掺人杂质的类型和数量,即电阻率大小及分布,外延层厚度及其均匀性,这些都是外延层质量评价的主要质检指标。通过外延生长时的原位监测和生长完成之后对外延片的检测可以得到上述主要质检指标。

   外延缺陷类型及分析检测

   外延缺陷按其所在位置可以划分为两类:一类是显露在外延层表面的缺陷,这类缺陷可以用肉眼 或者金相显微系统观察到,通常称为表面缺陷,主要有云雾线繁陷 层镄 点缺陷 角锥体 划旗 状表面、角锥体、划痕、星状体、麻坑等;另一类是存在于外延层内部的晶格结构缺陷,也就是体缺陷,主要有位错和层错。另外。还有些缺陷起源干外延层内部,甚至是衬底内部,如衬底中的线位错,外延生长时一直延伸到外延层表面,这类缺陷很难说是属于表面缺陷还是属于内部缺陷。