美国联邦209标准
发布时间:2017/5/6 17:46:33 访问次数:539
通过对过滤器的滤孔尺寸、空气流NAND512W3A2CN6E量、温度和湿度等进行控制,可以得到符合空气质量等级标准的超净环境。超净室的分类等级标准有美国联邦⒛9E标准(如表⒍2所示)、中国新⒙()146狃一l标准(如表⒍3所示)等,均定义为单位体积(即每立方英尺/美国标准,每立方米/⒙o14644-1标准)空气中含一定尺寸悬浮颗粒的数量。
集成电路工艺的发展对工艺环境要求不断提高,不同集成电路芯片对工艺环境超净等级要求不同,芯片特征尺寸越小,要求超净室的级别越高。而同种芯片的不同单项工艺要求的超净室等级也不同,如光刻工艺对环境要求就较高。
通过对过滤器的滤孔尺寸、空气流NAND512W3A2CN6E量、温度和湿度等进行控制,可以得到符合空气质量等级标准的超净环境。超净室的分类等级标准有美国联邦⒛9E标准(如表⒍2所示)、中国新⒙()146狃一l标准(如表⒍3所示)等,均定义为单位体积(即每立方英尺/美国标准,每立方米/⒙o14644-1标准)空气中含一定尺寸悬浮颗粒的数量。
集成电路工艺的发展对工艺环境要求不断提高,不同集成电路芯片对工艺环境超净等级要求不同,芯片特征尺寸越小,要求超净室的级别越高。而同种芯片的不同单项工艺要求的超净室等级也不同,如光刻工艺对环境要求就较高。
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