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静电放电(EsD)对电子工业的危害

发布时间:2016/9/24 19:57:45 访问次数:716

   电子工业中,摩擦起电和人体带电常有发生,电子产品在生产、包装运输及装联成整机的加工、调试、EPA087-10A检测的过程中,难免受到外界或自身的接触摩擦而形成很高的表面电位。如果操作者不采取静电防护措施,人体静电电位可高达1.5~3kV。静电损坏大体上分为两类,这就是由静电引起的浮尘埃的吸附以及由静电放电引起的敏感元器件的击穿。

   ①静电吸附。在半导体和半导体器件制造过程广泛采用Sio2及高分子物质的材料,由于它们的高绝缘性,在生产过程中易积聚很高的静电,并易吸附空气中的带电微粒导致半导体介质击穿、失效。为了防止危害,半导体和半导体器件的制造必须在洁净室内进行。

   ②静电击穿。在生产中,人们常把对静电反应敏感的电子器件称为静电敏感器件(staJcScllsⅡve Dcl/icc,SSD)。这类电子器件主要是指超大规模集成电路,特别是金属氧化物半导体(MOs)器件。

   超大规模集成电路集成度高、输入阻抗高,受静电的损害越来越明显。静电放电对静电敏感器件可能造成硬击穿或软击穿。硬击穿是一次性造成器件的永久性失效,如器件的输出与输入开路或短路。软击穿则可使器件的性能劣化,并使其指标参数降低而造成故障隐患。

   由于软击穿可使电路时好时坏(指标参数降低所致),且不易被发现,给整机运行和查找故障造成很大麻烦。软击穿时没备仍能带“病”I作,性能未发生根本变化,很Ⅱr能通过出厂检验,但随时可能造成再次失效。


   电子工业中,摩擦起电和人体带电常有发生,电子产品在生产、包装运输及装联成整机的加工、调试、EPA087-10A检测的过程中,难免受到外界或自身的接触摩擦而形成很高的表面电位。如果操作者不采取静电防护措施,人体静电电位可高达1.5~3kV。静电损坏大体上分为两类,这就是由静电引起的浮尘埃的吸附以及由静电放电引起的敏感元器件的击穿。

   ①静电吸附。在半导体和半导体器件制造过程广泛采用Sio2及高分子物质的材料,由于它们的高绝缘性,在生产过程中易积聚很高的静电,并易吸附空气中的带电微粒导致半导体介质击穿、失效。为了防止危害,半导体和半导体器件的制造必须在洁净室内进行。

   ②静电击穿。在生产中,人们常把对静电反应敏感的电子器件称为静电敏感器件(staJcScllsⅡve Dcl/icc,SSD)。这类电子器件主要是指超大规模集成电路,特别是金属氧化物半导体(MOs)器件。

   超大规模集成电路集成度高、输入阻抗高,受静电的损害越来越明显。静电放电对静电敏感器件可能造成硬击穿或软击穿。硬击穿是一次性造成器件的永久性失效,如器件的输出与输入开路或短路。软击穿则可使器件的性能劣化,并使其指标参数降低而造成故障隐患。

   由于软击穿可使电路时好时坏(指标参数降低所致),且不易被发现,给整机运行和查找故障造成很大麻烦。软击穿时没备仍能带“病”I作,性能未发生根本变化,很Ⅱr能通过出厂检验,但随时可能造成再次失效。


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