对GaN材料的粗化主要有湿法粗化和干法粗化两种方式。湿法粗化的原理主要是利用酸或碱对GaN的腐蚀作用,从而留下粗糙的表

面。EP1C12Q240I7N湿法粗化所用溶液主要有热磷酸(H`o4)和热氢氧化钾(KoH)等。对于N极性GaN和Ga极性GaN具有不同的腐蚀机制,以KoH溶液为例,由于极性的不同,C・aN在KoH溶液中腐蚀一段时间,N极性GaN表面会形成六角锥,从而露出(10了T)面,Ga极性GaN表面却没有明显变化⒓钊,如图5-14所示。当Ga极性表面存在缺陷,且达到一定温度时,KoH和磷酸溶液会在其表面留下六边形的腐蚀坑⒓剑。 P Ⅵs∞nti、X。Xu等研究组u-2习认为与位错强烈相关。