MOCVD尾气中除了含有未反应完的氢化物、MO源和某些反应副产物等有毒气体,还有很多粉尘颗粒。 A914BYW-2R2M在生产中必须将有粉尘和毒尾气通过尾气系统进行除尘及无害化处理,使其达到规定排放标准以下。

   一般尾气处理系统主要包括真空泵前级处理和从真空泵出来后的排放处理(如图⒈⒓所示)。在真空泵前级的尾气处理方面,通常在反应腔排气口和控制反应腔压力的蝶阀之间增设过滤器,这样一来,所有从反应室排除的尾气物质,必须先经过过滤器(包括颗粒冷凝)滤掉直径小于2um的粉尘,使颗粒粉尘不堵塞蝶阀或真空泵,从而保证系统能够长期正常工作。红黄光LED外延生长后的尾气,因其包含有含As和P的附产物,剧毒且易燃,其处理比GaN材料外延生长后的尾气处理要更为严格。通常会特别安排磷阱吸附器和毒气吸附器(TGA)进行吸附。而且,为防止热的尾气在管路中的凝结,会对尾气管路进行加热。但是,从真空泵出来的气体仍然含有毒气,在排放到大气之前需要将有毒物质浓度降低到规定排放标准以下。常用的尾气处理方法主要有利用化学反应吸收毒气的湿式过滤器P叨;利用吸附剂吸附毒气的活性炭过滤器田l];以及比较经济的燃烧法――通过热分解、燃烧或使有毒物质转化为氧化物粉尘,再将粉尘过滤。