MOCVD设备中的尾气处理系统、智能控制A914BYW-220M与数据系统,以及原位实时监测系统等均是保障设备安全可靠和功能完整之重要的子系统。限于篇幅,本节只做简单介绍,更多详细内容可参阅陆大成的著作。

   MOCVD尾气中除了含有未反应完的氢化物、MO源和某些反应副产物等有毒气体,还有很多粉尘颗粒。在生产中必须将有粉尘和毒尾气通过尾气系统进行除尘及无害化处理,使其达到规定排放标准以下。

   一般尾气处理系统主要包括真空泵前级处理和从真空泵出来后的排放处理。在真空泵前级的尾气处理方面,通常在反应腔排气口和控制反应腔压力的蝶阀之间增设过滤器,这样一来,所有从反应室排除的尾气物质,必须先经过过滤器(包括颗粒冷凝)滤掉直径小于2um的粉尘,使颗粒粉尘不堵塞蝶阀或真空泵,从而保证系统能够长期正常工作。红黄光LED外延生长后的尾气,因其包含有含As和P的附产物,剧毒且易燃,其处理比GaN材料外延生长后的尾气处理要更为严格。