MOCVD生长过程复杂、信息量A914BYW-330M大,需要实时运算、处理、执行和分析的数据纷繁复杂。这需要有优秀、合理的智能控制与数据处理系统架构方案和可靠的硬件施行条件。通常,就硬件配置而言,MOCVD的智能控制系统主要由主机服务器和各个功能PLC模块组成。主机一般负责材料生长过程监控、控制系统的监控界面运行、数据记录、报警记录、数据趋势图,以及操作人员的人工权限管理、指令控制与执行功能等。各PLC模块相应负责整个控制系统运行,包括各种信号采集、数据处理以及各种输出信号控制。输入信号包括各类仪表传感器的流量、压力、温度、警报信号等;输出信号涉及电磁阀、接触器、电机、压力控制器、流量控制器、加热器等控制量。基于此,MOcVD设备中整个智能系统硬件配置和任务划分后,通过不同的人机对话界面至少完成下列能:(1)安全互锁、报警及自发应急响应与处置功能;(2)材料生长程序的生成、运行、分析和统计功能:(3)程序控制和手动控制功能。