所加的斜坡电压具有如下特征:斜坡速率,0.1~1,0MV/(cm・s)线性上升;斜坡步进高度,最大0.1MV/cm;斜坡步进时间,小于或等于0.1s;最大电场,15MV/cm;最小电流密度容限,⒛A/Gm2。

   初始电压可以选择为使用条件下的电压值,或者稍低于使用条件下的电压值。当流BP2309过氧化层的电流超过预计电流的10倍,或者电压容限已达到时,斜坡电压过程将终止。失效判据为电流增大为先前的10倍以上。程序根据击穿时电流的大幅增加,判断击穿位置,找出击穿电压,并计算出击穿电荷和击穿电荷密度。

   在应力测试完成以后,再次在使用应力下进行测试,以确认在使用应力下的漏电流是否小于1uA,或者达到了最大场强,以判断失效的类型。失效分为致命失效、非致命失效、屏蔽失效和其他类型的失效,判断的依据如表7.4所示,由程序自动检测完成。斜坡电压测量流程如图7.6所示。