布线几何形状的影响。从统计观HBB152-A点看,金属条是由许多含有结构缺陷的体积元串接而成的,则薄膜的寿命将由结构缺陷最严重的体积元决定。若单位长度的缺陷数目是常数,随着膜长的增加,总缺陷数也增加。所以膜条越长寿命越短,寿命随布线长度而呈指数函数缩短,在某值趋近恒定。

   同样,当线宽比材料晶粒直径大时,线宽越大,引起横向断条的空洞形成时间越长,寿命越长。当线宽降到与金属晶粒直径相近或以下时,断面为一单个晶粒,金属粒子沿晶粒界面扩散减少,随着条宽变窄,寿命也会延长。

   电流恒定时线宽增加,电流密度降低,本身电阻及发热量降低,电迁移效应就不显著。如果线条横截面积确定,在条件允许的情况下,增加线宽比增加厚度效果更好。

   在台阶处,由于布线形成过程中台阶覆盖性不好,厚度降低,电流密度增加,易产生失效。