一般情况下昭的值为2,并且冼cσ)与炼(T)都与温度r有指数关系。金属离HBB15-1.5-A子运动的结果是在阴极局部形成空洞,造成开路失效,在阳极局部形成小丘造成“短路失效”。图5.13所示是铝金属互连线的电迁移效应产生的局部空洞现象。

   图5.14所示是电迁移加速寿命试验的数据。电迁移失效的内因是薄膜导体内结构的非均匀性,外因是电流密度。

  图513 铝金属互连线的电迁移效应产生的局部空洞现象

  图514 电迁移效应的加速寿命试验

   一般而言,铝互连线表面覆盖着一层氧化层薄膜,因此电导率会降低,使它难以发生电迁移。通常认为电迁移往往发生在晶粒的边界上。但是,当铝线的宽度缩小,使互连线的横截面只有一个晶粒的尺寸(竹节结构,BambOo哎ruCmre),晶界的扩散(Grain boundaγ d踟sion)路径减小,因此电迁移就会由原来的晶界扩散转变为晶格扩散。