水气的控制也是非常重要的。水蒸气OP249GS是一种气体,和其他污染气体一样,也会导致多余的反应。在晶圆制造厂中加工晶圆时带有水气是个严重的问题。当有氧气或水分存在时,硅很容易被氧化。所以控制多余的水气对阻止硅表面的氧化是非常重要的。水气的上限一般是3~sppm。

   在气体中有微粒或金属离子会产生与化学溶剂污染相同的影响,气体最终会过滤至0.2um级,而金属离子也要被控制在百万分之一以下。由空气中分离的气体以液态形式存储于厂区里,在这种状态下,气体温度很低,而且这种状态可冷冻许多杂质并储存于罐底部。特殊气体是以高压瓶的形式采购来的。因为特殊气体大多是有毒或易燃的,所以一般储存在厂区外的特制的气柜中。

   晶圆有大量的工艺时间是在石英器中度过的,如晶圆固定器、反应炉石英管、传送器。石英件也是一种非常大的污染源,通常由散气与微粒的方式产生。即使是高纯度石英也含有许多重金属离子,这些离子可以从石英中散出来进入扩散与氧化工艺反应的气流中,特别是在高温反应中。这些微粒来自晶圆与晶圆舟的擦伤和晶圆舟与反应炉石英的摩擦。