方块电阻的测量。扩散后A3242LUA要测量方块电阻,检验杂质浓度的控制情况。测量方块电阻通常采用四探针法,如图2.10所示。

   其中,/为内侧探针的电位差,即电位差计的读数(mV);J为外侧探针的电流值(mA)。由于被测样品的形状、大小、探针间距等都不同,所以要对结果进行修正,Κ为修正因子。修正因子可以从表2.7中查得,表中给出了圆形、正方形、长方形样品的修正因子。其中,s是探针间距,D是圆形样品的直径,歹为垂直探针列的一边长,L为平行探针列的一边长。

   在相邻两端加电流,测另外两端的电压,一共可测出四组值,然后再用电压除以电流即可得到薄层的电阻值,即Rf(/12/f34+殇3/J。1+‰o/J1广‰1%3)抑,用微电子测试图形测量薄层的方块电阻时,为了方便起见,都采用对称的图形结构和电极