固态杂质(颗粒)通过沙石过滤器、泥土过滤器与次微米级薄膜从水中去除。 OP249FZ细菌和真菌可由消毒器去除,这种消毒器使用紫外线杀菌,并通过水流中的过滤器滤除。

   有机污染物(植物与排泄物)可通过碳类过滤器去除,溶解的氧气与二氧化碳可用碳酸去除剂和真空消毒剂去除。表3.8显示了4MB DRAM制造厂的工艺水规格。

   表38 动态随机存取存储器的工艺水规范

   清洁工艺用水至可接受的洁净水平所需的费用是制造厂的主要营运费用之一。在大多数制造厂里,工艺加工站装配有水表来检测使用后的水。如果水质降到一定的水平,就需要在净化系统中再循环净化使用。多余的脏水需依照法规规定处理,再排出工厂。