方块电阻(Sheet Rcsistance)即扩散层电阻,又简称方阻。其定义为正方形的半导体薄层,A3242LLHLT-T在电流方向所呈现的电阻,单位为欧姆每方(Ω/□)。简单来说,方块电阻就是指导电材料单位厚度单位面积上的电阻值,其大小可以反映出半导体中掺杂的比例,因此扩散后要测量此参数。

  方块电阻的定义。对于一块均匀的导体,其导电能力与材料的电阻率p、长度z以及横截面积s都有关,方块电阻指一个正方形的扩散层边到边之间的电阻,如图2.9所示。若扩散薄层是边长为z的正方形,而结深为均勹,贝刂这个小方块所呈现的电阻就是方块电阻

Rs,由此可见,薄层电阻只与电阻率和薄层的厚度有关,而与边长无关。由于薄层电阻测量简单,工艺过程中常用测量它来判断扩散层的质量是否符合工艺设计要求。