生成氨化物和碳化物的反应
发布时间:2016/6/11 17:23:30 访问次数:568
碳化物的沉积通常通过卤化物和碳氢AD7892ARZ-2化物相互反应获得,其典型的化学反应式为
TC△(气)+CH4(气)-△C(固)+4HCl(气)
在氮化物的沉积过程中,氮的来源主要是通过氨气的分解来提供的,最典型的应用是氮化硅的沉积,其化学反应式为
3siH4(气)+4NH3(气)→Si3N4(固)+12H2(气)
各种CVD方法的优缺点如表2.4所示。表2.5是几种化学气相沉积方法的沉积条件、沉积能力、薄膜性能及其应用的比较。
碳化物的沉积通常通过卤化物和碳氢AD7892ARZ-2化物相互反应获得,其典型的化学反应式为
TC△(气)+CH4(气)-△C(固)+4HCl(气)
在氮化物的沉积过程中,氮的来源主要是通过氨气的分解来提供的,最典型的应用是氮化硅的沉积,其化学反应式为
3siH4(气)+4NH3(气)→Si3N4(固)+12H2(气)
各种CVD方法的优缺点如表2.4所示。表2.5是几种化学气相沉积方法的沉积条件、沉积能力、薄膜性能及其应用的比较。
相关技术资料- 6-11生成氨化物和碳化物的反应
公网安备44030402000607
