光干涉法。光干涉TC1185-3.3VCT713法需要将氧化膜腐蚀出一个斜面,用黑蜡或真空油脂保护一定区域,然后放入HF酸中将未被保护的S⒑2层腐蚀掉,最后再用有机溶剂去掉黑蜡或真空油脂,于是就出现s⒑2台阶,如图2.4所示,光干涉法比较适合测量厚度在⒛Onm以上的氧化膜。

   用短波长的单色光垂直入射至斜面处,由于从⒐α层表面及从s√S⒑2界面反射的两束光的干涉作用,台阶处出现黑暗相间的条纹,用显微镜观察斜面处的干涉条纹数(可读到半条)。根据条纹的个数即可计算出膜的厚度,氧化膜厚度的计算公式如下:

   椭偏光法。椭偏光法是用椭圆偏振光照射被测样品,观察反射光偏振状态的改变,从而测出膜的厚度。椭偏光法测量精度高达10A,且可同时测出薄膜的折射率,它还是一种非破坏性的测量方法。