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参考光斑对形状误差的影响

发布时间:2016/2/17 20:30:39 访问次数:454

    图11.16所示为参考光斑对形状误差的影响图。用以玻璃为基底、上面有一系列镀铬线纹，AAT3242ITP-TN-T1且整个表面覆盖镀金的标准校对样块做被测物件，线纹的轮廓为矩形，宽约15 hLm，高约70 IJm，线间距约为25 pLm。当轮廓仪的参考光斑直径为50 Um左右，测量光斑直径为1 um时，测量结果如图11.16 (a)所示，显然存在很大的形状误差；当参考光斑直径增大到150 htm时，如图11.16 (b)所示，测量结果与真实轮廓逼近。

   图11.16参考光斑对形状误差的影响

   


    图11.16所示为参考光斑对形状误差的影响图。用以玻璃为基底、上面有一系列镀铬线纹，AAT3242ITP-TN-T1且整个表面覆盖镀金的标准校对样块做被测物件，线纹的轮廓为矩形，宽约15 hLm，高约70 IJm，线间距约为25 pLm。当轮廓仪的参考光斑直径为50 Um左右，测量光斑直径为1 um时，测量结果如图11.16 (a)所示，显然存在很大的形状误差；当参考光斑直径增大到150 htm时，如图11.16 (b)所示，测量结果与真实轮廓逼近。

   图11.16参考光斑对形状误差的影响

   


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