轮廓仪不仅要能测量试件的表面粗糙度，还要能精确测量并显示被测轮廓的形状，否则AAT3242ITP-TG-T1它就仅是粗糙度检测仪。形状误差是轮廓测量精度的主要指标。如图11.14 (a)所示的轮廓，用“双焦点”装置测得的轮廓曲线如图11.14 (b)所示，该轮廓曲线显然已“面目全非”。可见参考光斑的大小直接影响到轮廓的形状误差。根据干涉图样光强变化的分析，FA是形状误差；蜀是参考光斑在理想光滑表面的千涉图样光强度，三1是干涉图样在图11.15所示特定轮廓表面光强度的损失。FA计算与轮廓不平度间距S有联系，当参考光斑的直径D= 0.1～1 mm，轮廓的不平度间距S约为D/20时，FA=17%;当S<D/20时，其影响线性减少。可见，同轴干涉式轮廓仪参考光斑的大小影响测量形状误差的大小。