此测量系统具有一千万倍以上的放大能力，即1 nm的变化可以被显示为10 mm，因此对这种测量系统来说，AAT3242ITP-WI-T1考虑其分辨率是更为突出的问题，是能可靠反映的最小变化量。对此种系统限制分辨率的不可靠因素，就是系统本身工作时的噪声，小于噪声的分辨率是无意义的。

   对于纳米级或亚纳米级的高分辨率仪器来说，用测定的方法来确定其分辨率是很困难的。例如，隧道显微镜和原子力显微镜其横向分辨率可以通过测量经处理的碳原子结构来认定，在高度方向上则还要借助光栅来标定范围。不过对几乎所有高分辨率仪器来说，除了其工作原理外，最后限制分辨率提高的是仪器本身的噪声。影响其垂直分辨率的主要因素就是从被测表面和仪器内部光学件界面反射回光，以及激光管噪等。一般认为此类仪器的分辨率应为它在实际工作条件下噪声的1.5～2倍。

   本仪器噪声的测量，足在仪器对焦准确、工作台和试件（平面镜）保持不动、开动扫描驱动电动机但不接上离合器（有振动、无扫描）时进行的，图11.17所示是实测结果。仪器噪声的大小用粗糙度参数Ra、Rz来表示，计算结果显示于图形上。

   可以看出，其Ra<0.05 nm，尺：<0.4 nm，按照常规，分辨率按它在实际工作条件下噪声的1.5倍计算，实际分辨率Ra可达到O.l nm，R：可达到0.5 nm。