膜厚的f涉或反射测量技术可以实现自动化。勾了理解这个方法， IRF2807PBF让我们先嘲顾一下1：涉效应。事实上光是能量的一种形式。因此干涉现象同样可以以能量的形式进行描述：、白光实际E是一束光线（不同颜色），其中每一种光都具有不同的能量。当光线通过透明的薄膜相干涉时，就会得到一种颜色、一种波长和一种能量水平的光束。这时我们的眼睛就把这种特定的能量形式认为是一种颜色。    

   分光光度计是一种用光电管代替人眼的自动干预设备。在紫外线范围内的单色光被样品反射回来，并且通过光电管进行分析。为f确保准确，读数将在不同的测试情况下进行。测试情况的改变是通过改用另外一种单色光（改变波长），或者改变光的入射角度来实现的。目前为了应用于半导体技术而特别设计的分光光度计配置有在线计算机，并具有改变测量情况和计算膜厚度的功能。带有可见光和紫外线光源的设备能够测量膜厚度到i00 A的水平411。

   反射系数的测量也是在这些仪器上实现的，分光光度计也可用于硅膜厚度的测量，但因为硅相对于紫外线是不透明的，因此这里我们采用了红外线光源，