饼式热感应APCVD
发布时间:2015/11/7 22:07:21 访问次数:406
饼式或垂直APCVD系统受到_『小型生产线和R&D实验室的钟爱（见图12. 14）。 G784RD1U在该系统中晶圆被放置在旋转的石墨托架上，并通过托架下面的射频线圈，以传导感应的方式给晶圆加热．，反应气体通过管路流入，在晶圆的上方流出。垂直气流具有持续供应新反应气体的优点，从而将向下流动的气体的损耗降到最小。旋转和垂直气流的结合产生良好的薄膜均匀性。类似于水平炉管式系统，饼式能够容纳的晶圆数量有限，在较小系统中的生产率受到限制。
双子星座( Gemini)研究公司提出了饼式设计的生产型的变种，反应室采用电阻式辐射加热和是否具有机械手自动装载功能的大容量托架。
饼式或垂直APCVD系统受到_『小型生产线和R&D实验室的钟爱（见图12. 14）。 G784RD1U在该系统中晶圆被放置在旋转的石墨托架上，并通过托架下面的射频线圈，以传导感应的方式给晶圆加热．，反应气体通过管路流入，在晶圆的上方流出。垂直气流具有持续供应新反应气体的优点，从而将向下流动的气体的损耗降到最小。旋转和垂直气流的结合产生良好的薄膜均匀性。类似于水平炉管式系统，饼式能够容纳的晶圆数量有限，在较小系统中的生产率受到限制。
双子星座( Gemini)研究公司提出了饼式设计的生产型的变种，反应室采用电阻式辐射加热和是否具有机械手自动装载功能的大容量托架。
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