工作台分为两种．，HEPA/UI)PA过滤器装于洁净工作台顶部，如图5.9所示．室内HEF4011BTR空气由风扇吸入先通过前置过滤器，再通过HEPA过滤器，并以均匀平行的方式流出，存【作台表面改变方向，流出工作台，安装挡板可控制品圆表面空气流动的方向，通常这种方式称为空气层流立式( VLF)工作台，它是由空气流的方向命名的。对于化学晶处理，将净化罩连接到工厂的包含气体的尾气系统，流入去除废气液体化学品的排泄系统（见图5. 10）．、

   这两种工作台按两种方法来保持晶圆清洁。j首先是工作台内的空气净化；其次，净化过程在工作台内产生一点空气正压，正压可防止由操作员与走廊产生的污染物进入工作台。

   基本净化工作台设计还可应用于现代晶圆加工设备中。在每台设备E安装VLF或HLF式工作台来保持晶圆在装卸过程中的洁净度（见第15章）。