半导体I：业采用净化问技术最初是由NASA（美国航空航天局）为组装航天器和IJ星而开发的。 HEF40106BTR与扩大到需要拥有更多工人的更大牛产区域时，足以装配卫星的小型净化问小能维持。该问题可以用净化间工作台方法补救。主要是把过滤器装在单个-]二作台L，并使用无脱落的物质．在T作台以外，晶圆被装在密封的盒子中储存和运输。

   最初制造区是由一个被称为舞厅式( ballroom)设计的大屋f组成。在大型车间中按顺序排列的工作台（称为工作罩）组成加工Ⅸ，使晶圆依工艺次序经过而从不露于脏空气中。净化，J，：作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集( HEPA)过滤器，或更苛刻的应用超低颗粒(ULPA)过滤器。，这砦过滤器是由含许多小孔，并按手风琴零叶折叠的脆性纤维组成的（见图5.8），高密度的小孔与大面积的过滤层，使得大量的空气低速流过。由T二低速空气可避免产乍窄气流，有利于I：作台的洁净度，并且对于操作员而苦，在舒适的环境中[：作也是必要的。典型的空气流量为每分钟90—100英尺，HF,PA和LTLPA过滤器町使0.12 lt,m颗粒达到99. 9999%或更高的过滤效率.