净化间的设计是要使生产无污染晶圆的能力更完整化。设计时的主要思路是保持加l：中空气的洁净。HEF4001BTR自动化生产也是降低污染的一种重要方法。这个问题将于“工艺设备”p与第15章展开讲述，共有4种不同的净化间设计方法：

   1．洁净-1：作台

   2．隧道型设计

   3．微局部环境

   4．晶圆隔离技术( WIT)

    洁净工作台法

   半导体I：业采用净化问技术最初是由NASA（美国航空航天局）为组装航天器和IJ星而开发的。、然I斫，！与扩大到需要拥有更多工人的更大牛产区域时，足以装配卫星的小型净化问小能维持。该问题可以用净化间工作台方法补救。主要是把过滤器装在单个，并使用无脱落的物质．在T作台以外，晶圆被装在密封的盒子中储存和运输。