热处理
发布时间:2015/10/25 17:44:14 访问次数:478
热处理是简单地将晶圆加热和冷却来达到特定结果的制程（见图4. 16） ST3426在热处理的过程中（见图4. 17），在晶圜}二没有增加或减去任何物质，然而一L艺过程叮能会在晶圆中或晶圆f：面产牛污染.
在离子注入制程后会有·步重要的热处理掺杂原子的注入所造成的晶圆损伤会被热处理修复，这称为退火( anneal)，温度在1000℃左右 另外，金属导线在晶圆f：制成后会有步热处理，这螳导线在电路的各个器件之问承载电流，为r确保好的导电性，金属会在450。C热处理后与晶圆表面紧密熔合热处理的第三种重要用途是通过加热在晶圆表面的光刻胶将溶剂蒸发掉，从而得剑精确的图形
热处理是简单地将晶圆加热和冷却来达到特定结果的制程（见图4. 16） ST3426在热处理的过程中（见图4. 17），在晶圜}二没有增加或减去任何物质，然而一L艺过程叮能会在晶圆中或晶圆f：面产牛污染.
在离子注入制程后会有·步重要的热处理掺杂原子的注入所造成的晶圆损伤会被热处理修复，这称为退火( anneal)，温度在1000℃左右 另外，金属导线在晶圆f：制成后会有步热处理，这螳导线在电路的各个器件之问承载电流，为r确保好的导电性，金属会在450。C热处理后与晶圆表面紧密熔合热处理的第三种重要用途是通过加热在晶圆表面的光刻胶将溶剂蒸发掉，从而得剑精确的图形
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