滚磨定向指示
发布时间:2015/10/24 19:21:29 访问次数:820
一旦晶体在切割块上定好晶向,就沿着轴滚磨出一个参考面(见图3. 19)。MC9S12DP256BMPV这个参考面将会在每个晶圆上出现,称为主参考面。参考面的位置沿着一个重要的晶面,这是通过晶体定向检查来确定的。
在制造工艺中,参考面对晶向起可见的参考作用。它用来放置第一步的光刻图案掩模版,所以芯片的晶向总是沿着…一个重要的晶面。,
在许多晶体中,在边缘有两个较小的参考面。第二个参考面对于主参考面的位置是一种代码,它不仅用来区别晶圆晶向而且区别导电类型,这种代码如图3. 20所示。
对于更大直径的晶圆,在晶体上磨出一个槽用来标识晶圆的晶向(见图3.19)。在有些情况下,在晶体上磨出一个简单的凹槽作为生产晶向定位物。
一旦晶体在切割块上定好晶向,就沿着轴滚磨出一个参考面(见图3. 19)。MC9S12DP256BMPV这个参考面将会在每个晶圆上出现,称为主参考面。参考面的位置沿着一个重要的晶面,这是通过晶体定向检查来确定的。
在制造工艺中,参考面对晶向起可见的参考作用。它用来放置第一步的光刻图案掩模版,所以芯片的晶向总是沿着…一个重要的晶面。,
在许多晶体中,在边缘有两个较小的参考面。第二个参考面对于主参考面的位置是一种代码,它不仅用来区别晶圆晶向而且区别导电类型,这种代码如图3. 20所示。
对于更大直径的晶圆,在晶体上磨出一个槽用来标识晶圆的晶向(见图3.19)。在有些情况下,在晶体上磨出一个简单的凹槽作为生产晶向定位物。
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