直径滚磨
发布时间:2015/10/24 19:18:29 访问次数:863
除了来自材料和处理中的有害杂质外,CZ过程本身增加了两种晶体杂质。MC9S12DJ64MFU一是来自石英坩埚的氧气。二是来自热温区域石墨中的碳。氧是在得到的晶片和电路的电活性。碳可以促进氧沉淀一:。
晶体从单晶炉里出来以后,到最终的晶圆会经历一系列的步骤。第一步是用锯子截掉头尾,,
直径滚磨
在晶体生长过程中,整个晶体长度中直径是有偏差的(见图3. 17)。晶圆制造过程有各种各样的晶圆固定器和自动设备,需要严格的直径控制以减少晶圆翘曲和破碎。
直径滚磨是在一个无中心的滚磨机( centerless grinder)
j:进行的机械操作。机器滚磨晶体到合适的直径,无须用一个同定的中心点夹持晶体在车床型的滚磨机上操作。
除了来自材料和处理中的有害杂质外,CZ过程本身增加了两种晶体杂质。MC9S12DJ64MFU一是来自石英坩埚的氧气。二是来自热温区域石墨中的碳。氧是在得到的晶片和电路的电活性。碳可以促进氧沉淀一:。
晶体从单晶炉里出来以后,到最终的晶圆会经历一系列的步骤。第一步是用锯子截掉头尾,,
直径滚磨
在晶体生长过程中,整个晶体长度中直径是有偏差的(见图3. 17)。晶圆制造过程有各种各样的晶圆固定器和自动设备,需要严格的直径控制以减少晶圆翘曲和破碎。
直径滚磨是在一个无中心的滚磨机( centerless grinder)
j:进行的机械操作。机器滚磨晶体到合适的直径,无须用一个同定的中心点夹持晶体在车床型的滚磨机上操作。
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