线纹尺的干涉测量技术
发布时间:2015/5/12 20:36:37 访问次数:671
线纹尺为即测量用的刻度尺,AD5233BRU10其精度很高,有的要求相邻刻线间的误差小于0.2斗m。工程上一般需要对标准的线纹尺测量校准。常用干涉测量的方法,线纹尺的干涉测量原理如图7 -15所示。由氦一氖激光器l发出的单模稳频激光束,经准直光学系统2扩束后,再经反射镜3到分光镜4被分成两路,一路透射光经反射镜6射到紧固在仪器底座的参考反射角锥棱镜7上,由原路返回至分束镜4,这一路具有固定的光程。另一路通过移相板8后,射到固定在测量移动平台上的角锥反射棱镜5上,返回到分束镜4,两路光在分光镜4上汇合产生干涉现象。此两组干涉斑分别通过半透半反镜10和11到达物镜12和13,并分别被两个光电检测器14和15接收,经放大整形后,送入辨向细分电路,利用正、余弦信号实现四倍频细分,即干涉光斑变化一次,发出4个脉冲,从而每一脉冲当量为A/8。测量时,测量平台移动,瞄准镜9瞄准刻线发出计数指令,直到下一刻线出现,并且被瞄准时,瞄准镜发出指令停止计数,即可以实现测量。
线纹尺为即测量用的刻度尺,AD5233BRU10其精度很高,有的要求相邻刻线间的误差小于0.2斗m。工程上一般需要对标准的线纹尺测量校准。常用干涉测量的方法,线纹尺的干涉测量原理如图7 -15所示。由氦一氖激光器l发出的单模稳频激光束,经准直光学系统2扩束后,再经反射镜3到分光镜4被分成两路,一路透射光经反射镜6射到紧固在仪器底座的参考反射角锥棱镜7上,由原路返回至分束镜4,这一路具有固定的光程。另一路通过移相板8后,射到固定在测量移动平台上的角锥反射棱镜5上,返回到分束镜4,两路光在分光镜4上汇合产生干涉现象。此两组干涉斑分别通过半透半反镜10和11到达物镜12和13,并分别被两个光电检测器14和15接收,经放大整形后,送入辨向细分电路,利用正、余弦信号实现四倍频细分,即干涉光斑变化一次,发出4个脉冲,从而每一脉冲当量为A/8。测量时,测量平台移动,瞄准镜9瞄准刻线发出计数指令,直到下一刻线出现,并且被瞄准时,瞄准镜发出指令停止计数,即可以实现测量。
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