如图7 -12所示，在干涉仪的分束镜上镀以分束移相膜，该移相分光膜不仅使入射光线分为两束， AD518SH而且能使光线在该膜层上每反射一次就产生rr/4的相位跳变。在图7-12中，到达光电检测器1的两相干光束在A、B处各反射一次，两者没有相对附加的相位移动。到达光电检测器2的两相干光束I2和Ⅱ2，则由于光束I2在A、B处共反射二次，而光束Ⅱ2在A、B处均为透射，因此光束I2和Ⅱ2之间将产生rr/2的相位偏移。当把由Il和Ⅱl干涉形成的干涉信号和由I2、Ⅱ2形成的干涉信号用两路光电检测器接收时，所得到的两路干涉信号就相差百／2。用这种方法可获得很稳定的信号移相。

   利用偏振光的移相法

   图7 -13是一种利用偏振光的特性与偏振光学元件组成的移相方法。从激光光源输入到干涉系统的光，是一偏振方向与入射面（图）面成450的平面线偏振光。入射光经分束镜分为

两束，一束形成测量光束，由活动反射器反射后再由务束镜反射，其光的偏振方向仍然是与入射面成45 0的线偏振光，且垂直分量与水平分量的相位是相同的。另一束光形成参考光束，经

固定反射器反射后，这束光通过A/4波片变成圆偏振光，这时它垂直分量和水平分量相相位差900。这两束光合成后，通过渥拉斯顿棱镜使两光束中的垂直分量和水平分量分开，并各自干涉形成两组干涉条纹信号，则这两组干涉信号的相相位差订／2。

   以上介绍了几种常用的获得相位相差rr/2干涉信号的移相方法。此外，还有不少移相方法，就不一一列举了。总之，在选择和设计移相方法时，要根据测量条件、系统结构以及精度要求等各方面来综合考虑。