半导体气敏传感器的工作原理
发布时间:2014/12/5 20:55:39 访问次数:2651
半导体气敏传感器是利用气体吸附而使半导体本身的电导率发生变化,K2018用这一原理进行检测常用金属氧化物半导体主要有Sri()2、Zn0、Fez 03等。
Sn02气敏元件传感器
Sn02气敏元件的工作原理Sn02的熔点为1625℃,性能稳定,不溶于水,具有红宝石结构,是一种N型半导体。气敏元件工作时必须加热,其目的是:加速被测气体的吸附、脱离过程,烧去气敏元件的油垢或污物,起清洗作用。控制不同的加热温度,能对不同的被测气体具有选择作用。加热温度与元件输出灵敏度有关,如图7-1所示,一般为200~400℃。气敏元件被加热到稳定状态后,被测气体接触元件的表面而被吸附后,元件的电阻会产生较大的变化。
Sn02元件能与空气中电子亲和性大的气体(如02和N()2等)发生反应,形成吸附氧分子会束缚晶体中的电子,使N型材料的表面空间电荷层的传导电子减少,从而使器件处于高阻状态。在与被测气体接触时,氕体与吸附氧发生反应,将被氧束缚的电子释放出来,表面电导增加,使器件电阻减小。N型半导体气敏元件在检测中的阻值变化情况如图7-2所示。
半导体气敏传感器是利用气体吸附而使半导体本身的电导率发生变化,K2018用这一原理进行检测常用金属氧化物半导体主要有Sri()2、Zn0、Fez 03等。
Sn02气敏元件传感器
Sn02气敏元件的工作原理Sn02的熔点为1625℃,性能稳定,不溶于水,具有红宝石结构,是一种N型半导体。气敏元件工作时必须加热,其目的是:加速被测气体的吸附、脱离过程,烧去气敏元件的油垢或污物,起清洗作用。控制不同的加热温度,能对不同的被测气体具有选择作用。加热温度与元件输出灵敏度有关,如图7-1所示,一般为200~400℃。气敏元件被加热到稳定状态后,被测气体接触元件的表面而被吸附后,元件的电阻会产生较大的变化。
Sn02元件能与空气中电子亲和性大的气体(如02和N()2等)发生反应,形成吸附氧分子会束缚晶体中的电子,使N型材料的表面空间电荷层的传导电子减少,从而使器件处于高阻状态。在与被测气体接触时,氕体与吸附氧发生反应,将被氧束缚的电子释放出来,表面电导增加,使器件电阻减小。N型半导体气敏元件在检测中的阻值变化情况如图7-2所示。
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