1.工艺过程监控系统建立要求
    为使声表面波器件的生产过程稳AD536ASD定受控，设计时就应提出建立工艺过程监控系统的要求，使产品在工艺过程稳定受控状态下生产，保证产品内在质量和可靠性。
    建立工艺过程监控系统的一般技术流程如图9. 12所示。
    建立工艺过程监控系统时，应根据器件生产工艺流程、生产用工艺设备自动化控制永平和工艺质量参数的自动化检测能力高低情况等，确定生产过程实施监控的关键工序过程节点，及采用的相应数理统计工具；根据所制订的产品工艺文件规定控制的关键工艺参数，选择适当的测量设备仪器，采集工艺参数数据，并选用合适的控制图分析所采集的数据。
    2.各工序控制内容与方法要求
    声表面波器件生产要经历基片清洗、镀膜、光刻、划片、粘片、点焊及封帽等工序，对各道工序的工艺都必须进行控制，控制的内容、方法和目的见表9.4。