电子束蒸镀设各是当前使用最多的设备,它可以制各的薄膜材料范围广泛,如常用金属、难熔金属、合金、化合物等。

但是,电子束蒸镀对衬底有辐射损伤,器件和电路对辐射损伤敏感,一般不采用电子束蒸镀工艺来制备它的金属化系统,此时可以采用电感蒸镀设备。而常用金属薄膜,如果对薄膜纯度要求不高,通常使用结构简单的电阻蒸镀设备就能满足要求。

例如伴音正常、无光栅,可初步推断为显像管附属电路、未级视放电路故障。

常用检修方法，电压法这是应用最多的方法,不少情况下用此法已能较准确地确定故障部位。测量有关测试点的电压值(如电源各路输出电压,厚膜、集成块、高频头各引脚电压,晶体管、显像管各极电压等),并与正常值比较,即可判定故障部位。有时,还可利用测电阻的端电压的方法获取电流数据。

电流法，检测整机或某单元电路电流,主要是检测有无漏电、短路或开路性故障。

因测电流时需将电流表串入待测支路,故需小心谨慎,尤其测大电流支路时，必须将电流表接好后,再开机测量。另外,检测电流只有在电源电压基本正常时才有意义。

电阻法这是应用最广泛的检测方法之一,也是最安全的方法。测电阻法分在线测量和开路测量两种。在线测量的元件阻值应小于或等于其实际阻值。

通过测量,确认故障部位。对初步推断的故障部位或单元电路进行动态、静态测量,确认故障部位。

另外,在光刻剥离技术中,为利于淀积在光刻胶上的金属或合金薄膜的剥离,通常尽量降低蒸镀时的衬底温度,如采取冷蒸方法。